共栄制御機器株式会社ガラス基板気泡検査システム

ガラス基板気泡検査

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JQA-QM9373
JQA-EM2194

■概要

本装置は、ガラス基板内面の気泡※１（40μｍ）欠陥を検出し、設定された判定基準と比較して良否判定を行うインライン型自動検査装置です。

■特徴

洗浄前のガラス基板を悪環境（ダスト付着、粉塵混在等）の中で高精度画像処理及び、ファイバーエッジ照明、ラインセンサーカメラにより、気泡欠陥のみを検出します。

■仕様

基板サイズ	幅：500mm 長さ：400mm 厚み：0.7t/1.0t ※２（0.55t/0.4t）
計測、演算	１枚/7Sec
検査スピード	100mm/Sec , １検査/12Sec
検査タクト	１枚/33.0Sec

※１　限度サンプルのワークテストで測定可能な欠陥とします。
※２　将来対応として別途改造見積とさせて頂きます。